利用计量型原子力显微镜进行纳米台阶高度测量

• 作者: 卢明臻 崔建军 杜华 胡小唐 陈治 高思田
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 计量学 纳米计量 原子力显微镜 台阶高度 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 288-292
• 页数: 5页
• 分类号: PH711
• 字数: 3702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.04.010

摘要

计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成.针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作.建立了校准模型,分析了扫描器 9 项主要误差项,并将该模型应用到原子力显微镜扫描器的校准中.校准后的结果表明,除X轴位置误差不超过±2 nm外,其他8项的残余误差均不超过±1nm.通过台阶高度国际比对,建立了台阶高度标准计算方法及不确定度分析模型.台阶高度国际比对的测量结果表明,计量型原子力显微镜的测量值与参考值相差均小于1.5 nm.