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纳米多孔硅基薄膜的常压等离子体化学气相沉积过程研究
纳米多孔硅基薄膜的常压等离子体化学气相沉积过程研究
作者:
周荃
夏磊
张菁
徐金洲
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
常压等离子体化学气相沉积(APECVD)
多孔硅基薄膜
负偏压
荧光(PL)
摘要:
采用常压等离子体化学气相沉积(APECVD)的方法制备了带有新颖结构和特殊蓝紫光(400 nm左右)发光特性的硅基薄膜.通过在自行研制的等离子体反应装置中通入按100:1:1的体积比进行配比的SiH<,4>:H<,2>: Ar混合气体进行APECVD,在加负偏压条件下获得了由Si基组成的絮状多孔纳米结构薄膜.通过等离子体发射光谱测定了沉积过程中的电子温度在2.2eV左右,扫描电子显微镜(SEM)观测薄膜表面形貌后肯定了偏压对薄膜纳米结构的形成起着重要的作用.
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射频驱动
常压
射流等离子体
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期刊文献
内容分析
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相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
纳米多孔硅基薄膜的常压等离子体化学气相沉积过程研究
来源期刊
东华大学学报(自然科学版)
学科
物理学
关键词
常压等离子体化学气相沉积(APECVD)
多孔硅基薄膜
负偏压
荧光(PL)
年,卷(期)
2008,(1)
所属期刊栏目
基础科学
研究方向
页码范围
117-121
页数
5页
分类号
O539
字数
1977字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1671-0444.2008.01.027
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张菁
东华大学理学院
41
254
9.0
14.0
2
徐金洲
东华大学理学院
8
33
3.0
5.0
3
夏磊
东华大学理学院
3
10
2.0
3.0
4
周荃
东华大学理学院
2
10
2.0
2.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(14)
共引文献
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参考文献
(10)
节点文献
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(7)
同被引文献
(18)
二级引证文献
(14)
1969(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1980(1)
参考文献(1)
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1982(1)
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1987(2)
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二级参考文献(2)
1989(2)
参考文献(0)
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1990(2)
参考文献(0)
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1992(1)
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2006(2)
参考文献(2)
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2008(0)
参考文献(0)
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引证文献(0)
二级引证文献(0)
2009(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2010(3)
引证文献(2)
二级引证文献(1)
2011(3)
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2012(1)
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2013(1)
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2014(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2015(1)
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二级引证文献(1)
2016(2)
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二级引证文献(2)
2017(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2018(5)
引证文献(0)
二级引证文献(5)
研究主题发展历程
节点文献
常压等离子体化学气相沉积(APECVD)
多孔硅基薄膜
负偏压
荧光(PL)
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
东华大学学报(自然科学版)
主办单位:
东华大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1671-0444
CN:
31-1865/N
开本:
大16开
出版地:
上海市延安西路1882号
邮发代号:
4-123
创刊时间:
1956
语种:
chi
出版文献量(篇)
3448
总下载数(次)
6
总被引数(次)
26983
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
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