电磁力驱动的微夹持技术

• 作者: 席文明 钟辉
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: PVDF膜片 微力传感夹钳 共振频率 膜片刚度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 195-198
• 页数: 4页
• 分类号: TP24
• 字数: 2639字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.03.008

摘要

在生物操作和微装配中,需要微力传感器控制操作过程,以保证操作的有效性.为此,设计了集电磁力驱动和压电传感于一体的夹钳,利用螺线管与小永磁体产生的排斥力驱动夹钳闭合,通过改变螺线管电流的大小来控制夹钳夹持力.夹钳夹持物体时,聚偏二氟乙烯(PVDF)产生压电效应输出电压,电压的数值确定了夹持力.利用共振频率方法测量PVDF膜片刚度,结合显微视觉系统测量膜片变形,可以确定夹钳受到的力,从而获得夹钳受力与输出电压的关系.实验结果表明,采用共振频率方法精确测量出的膜片刚度为110.7μN/μm,夹钳力传感分辨率为1.1mN.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟辉	厦门大学机电工程系	6	192	4.0	6.0
5	席文明	厦门大学机电工程系	49	129	6.0	8.0