利用常规工艺提高光子晶体GaN LED的出光效率

• 作者: 宋倩 杜伟 王春霞 胡海洋 许兴胜 陈弘达 鲁琳
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光子晶体 GaN LED ICP
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 569-572
• 页数: 4页
• 分类号: TN312+.8
• 字数: 2239字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.05.001

摘要

计算了GaN二维光子晶体的能带结构,并利用常规工艺在国内首次制备出了GaN基二维平板结构的光子晶体蓝光LED.经过器件测试表明,与没有制作光子晶体的器件相比,光子晶体使器件的有效出光效率达到了原来的1.5倍以上.另外,还对感应耦合等离子体刻蚀(ICP)的制备光子晶体LED的刻蚀工艺进行了分析.