超高纯氯气的大规模产业化生产

• 作者: 冯庆祥 吴江红 孙福楠
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 超纯氯 吸附 低温精馏
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TQ117
• 字数: 2801字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2008.01.001

摘要

超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料.近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用.为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要.