Si基太阳电池用SiNx：H薄膜的研究进展

• 作者: 周春兰 唐煜 王文静 贾晓昀
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池SiNx: H钝化减反射
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 247-250
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2

摘要

SiNx：H薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用，在晶体硅太阳电池（单晶硅、多晶硅）的研究和生产中得到越来越广泛的应用。介绍了SiNx：H薄膜在硅基太阳电池中的减反射和钝化作用，主要制备方法等研究现状，以及面临的问题和今后的研究趋势。