基于锆钛酸铅薄膜的变形镜微致动器

• 作者: 刘爽 刘芳 吴亚雷 文莉 褚家如 许晓慧
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 变形镜 微致动器 锆钛酸铅薄膜 镍酸镧
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 142-145
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2245字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.02.014

摘要

以锆钛酸铅(PZT)薄膜作为驱动材料,制备了变形镜的微致动器阵列.使用有限元软件对致动器进行了模拟仿真,得到了驱动器上电极尺寸、Si弹性层厚度等参数对致动器性能的影响,获得了最优化的致动器结构.以钙钛矿相的镍酸镧(LNO)作为PZT薄膜在Pt衬底上生长的缓冲层,增强了PZT薄膜的(100)取向,减小了PZT薄膜的内部应力,提高了致动器的驱动性能.最终制备出的1μm厚PZT薄膜驱动的变形镜微致动器,在10 V直流电压的激励下,具有2.0μm的变形量.以PZT薄膜作为驱动材料制备的变形镜微致动器阵列,对变形镜致动器的微型化和系统集成度的提高具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘芳	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	121	906	16.0	24.0
2	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
3	文莉	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	18	49	4.0	6.0
4	吴亚雷	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	12	53	5.0	6.0
5	刘爽	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	27	238	9.0	15.0
6	许晓慧	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	75	6.0	8.0