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摘要:
基于开展的薄硅片长脉冲激光弯曲成形实验,针对弯曲样品表面产生的滑移线和堆垛层错缺陷,结合实验所用规格硅片弯曲角度不超过35°的现象,运用位错理论分析在弯曲过程中硅晶体产生位错、层错现象的原因以及位错对激光弯曲成形的影响.说明了滑移线主要是位错堆积产生滑移的表现形式,而堆垛层错是位错相互叠加产生的不全位错导致的结果;提出薄硅片弯曲成形受到位错浓度和位错移动速度变化的影响.
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文献信息
篇名 位错对薄硅片激光弯曲过程的影响
来源期刊 中国激光 学科 工学
关键词 激光技术 激光弯曲 滑移线 堆垛层错 位错理论 位错浓度 位错移动
年,卷(期) 2008,(5) 所属期刊栏目 激光应用
研究方向 页码范围 772-775
页数 4页 分类号 TN249|TG665
字数 3244字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.05.029
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郭东明 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 273 4547 35.0 54.0
2 吴东江 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 63 533 14.0 20.0
3 马广义 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 42 204 8.0 12.0
4 王续跃 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 87 426 10.0 15.0
5 周秋菊 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 2 28 2.0 2.0
6 牛方勇 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 17 44 5.0 6.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
激光技术
激光弯曲
滑移线
堆垛层错
位错理论
位错浓度
位错移动
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导