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位错对薄硅片激光弯曲过程的影响
位错对薄硅片激光弯曲过程的影响
作者:
吴东江
周秋菊
牛方勇
王续跃
郭东明
马广义
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光技术
激光弯曲
滑移线
堆垛层错
位错理论
位错浓度
位错移动
摘要:
基于开展的薄硅片长脉冲激光弯曲成形实验,针对弯曲样品表面产生的滑移线和堆垛层错缺陷,结合实验所用规格硅片弯曲角度不超过35°的现象,运用位错理论分析在弯曲过程中硅晶体产生位错、层错现象的原因以及位错对激光弯曲成形的影响.说明了滑移线主要是位错堆积产生滑移的表现形式,而堆垛层错是位错相互叠加产生的不全位错导致的结果;提出薄硅片弯曲成形受到位错浓度和位错移动速度变化的影响.
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文献信息
篇名
位错对薄硅片激光弯曲过程的影响
来源期刊
中国激光
学科
工学
关键词
激光技术
激光弯曲
滑移线
堆垛层错
位错理论
位错浓度
位错移动
年,卷(期)
2008,(5)
所属期刊栏目
激光应用
研究方向
页码范围
772-775
页数
4页
分类号
TN249|TG665
字数
3244字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0258-7025.2008.05.029
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
郭东明
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
273
4547
35.0
54.0
2
吴东江
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
63
533
14.0
20.0
3
马广义
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
42
204
8.0
12.0
4
王续跃
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
87
426
10.0
15.0
5
周秋菊
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
2
28
2.0
2.0
6
牛方勇
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
17
44
5.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
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2008(2)
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节点文献
激光技术
激光弯曲
滑移线
堆垛层错
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研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
主办单位:
中国光学学会
中科院上海光机所
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7025
CN:
31-1339/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
邮发代号:
4-201
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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