DLC/Ag/DLC复合多层薄膜光学性能

• 作者: 张德恒 徐照方 李伯勋
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 光学性能 多层膜 光学透射率 电气指数 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 2031-2035
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.10.036

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积类金刚石(DLC)薄膜、高真空磁控溅射镀膜设备溅射Ag靶的方法制备了不同厚度Ag、DLC层的DLC/Ag/DLC多层膜,分别用紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的光学性能、电学性能进行了测试.结果表明,随着Ag层厚度的增加,DLC/Ag/DLC多层膜透射率先增后减,外层DLC薄膜和内层DLC薄膜对透射率影响基本一致,随着厚度增加透射率先增后减,在内外层厚度为40 nm,Ag夹层厚度为16 nm时,DLC(30 nm)/Ag(16 nm)/DLC(40 nm)膜在550 nm处的透射率高达94.4%,电气指数高达112.4 ×10-3Ω-1,远远超过现有透明导电膜的电气指数(FTC≈20×10-3Ω-1).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伯勋	中南大学物理科学与技术学院	4	12	1.0	3.0
2	张德恒		1	12	1.0	1.0
3	徐照方	中南大学物理科学与技术学院	1	12	1.0	1.0