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PECVD制备DLC复合薄膜性能及模具应用
PECVD制备DLC复合薄膜性能及模具应用
作者:
张而耕
陈强
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
Cr/DLC
结合强度
耐磨性
硬度
寿命
摘要:
目的 比较分析CrN过渡层与不同膜厚对DLC薄膜性能的影响,以及涂层模具的成型特性.方法采用PECVD方法在718合金试样及模具表面沉积CrN/DLC复合膜,预设CrN过渡层厚度为0.2μm,DLC膜层厚度为0.5~1.2μm.采用无损设备对不同沉积时间(10、15、20、25、30、35 min)的薄膜厚度进行表征,并使用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜表面及截面结构特征.采用拉曼光谱(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例关系,用纳米压痕仪表征膜层硬度,用硬度计分析膜/基结合力,用轮廓仪表征薄膜表面特征,并探讨膜厚对薄膜性能的影响机制.结果薄膜的厚度值在预设范围以内,该方法制备的薄膜结构致密,表面光滑,无分层、凹坑、液滴粘附等缺陷.随涂层厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先减小后增大的趋势,G峰也先向D峰靠近,而后远离.薄膜硬度同样随膜层厚度的增加呈先增加后减小的趋势,1.06μm厚的CrN/DLC膜的硬度最高(3600HV).薄膜的结合力等级最高可以达到工业级的HF2.表面轮廓无较大波动,表面粗糙度Ra最低可达0.011μm.1.06μm CrN/DLC涂层模具的成型寿命是未涂层模具的3倍以上.结论对橡胶模具而言,适当厚度的DLC微/纳涂层处理可以起到一定的减磨、抗腐蚀效果,降低模具本体表面润湿性,保证橡胶件成型质量.
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篇名
PECVD制备DLC复合薄膜性能及模具应用
来源期刊
表面技术
学科
工学
关键词
Cr/DLC
结合强度
耐磨性
硬度
寿命
年,卷(期)
2019,(1)
所属期刊栏目
膜层材料与技术
研究方向
页码范围
298-304
页数
7页
分类号
TG174.444
字数
2253字
语种
中文
DOI
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.01.039
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张而耕
上海应用技术大学表面工程研究所
42
173
8.0
11.0
2
陈强
上海应用技术大学工程创新学院
12
52
4.0
7.0
传播情况
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Cr/DLC
结合强度
耐磨性
硬度
寿命
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
表面技术
主办单位:
中国兵器工业第五九研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-3660
CN:
50-1083/TG
开本:
16开
出版地:
重庆市2331信箱(重庆市九龙破区石桥铺渝州路33号)
邮发代号:
78-31
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
5547
总下载数(次)
30
总被引数(次)
34163
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