三种不同后处理方式对ZrO2薄膜性能的影响

• 作者: 晋云霞 王聪娟 范正修 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 氧化锆 抗激光损伤阈值 退火 激光预处理 离子后处理
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1600-1604
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.10.032

摘要

采用有氧热处理、激光预处理和离子后处理三种方式对电子束蒸发(EBE)制备的单层ZrO2薄膜进行了后处理,并分别对样品的光学性能和抗激光损伤阈值(LIDT)特性进行了研究.实验结果表明,热处理方式可以有效排除膜层内吸附的水气,弥补薄膜制备过程中的氧损失,使得光谱短移、吸收减小、损伤阈值增高;激光预处理过程可以在一定程度上减少缺陷、提高损伤阂值,但对膜层的光谱和吸收情况没有明显的改善作用;而离子后处理能够提高膜层的堆积密度、减少缺陷、降低吸收从而提高损伤阚值.由于三种方式处理机制不同,在实际应用中应根据膜层的性能选择合适的处理方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	晋云霞	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	122	7.0	11.0
4	王聪娟	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	45	3.0	4.0