ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计与实现

• 作者: 张明明 白宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: ZSH5型划片机 模块化设计 闭环控制
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 设备与工艺
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.011

摘要

介绍了ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计路线和框架结构,以及一些重要功能模块的实现方法和特点.总结了一些精密半导体专用设备的开发经验,为设计和开发机电设备的控制系统提供一些思路和方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白宇		8	21	3.0	4.0
2	张明明		3	14	2.0	3.0