LTCC基板砂轮划片质量影响因素研究

• 作者: 于卫龙 刘燕燕 李俊
• 来源期刊: 科技创新与生产力
• 关键词: 砂轮划片 LTCC基板 划片工艺
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-9146.2019.06.067

摘要

采用单因素分析法,对影响LTCC基板砂轮划片质量的众多因素中的设备耗材因素和划片工艺参数进行了分析.详细说明了设备耗材因素中砂轮树脂刀片、 固定方式、 磨刀板对划片质量的影响以及划片工艺参数中主轴转速、 给进速度、 划切深度、 冷却液及流量对划片质量的影响,为选取最佳的设备耗材和最平衡的工艺参数提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊	中国电子科技集团公司第二研究所	38	117	4.0	9.0
2	刘燕燕	中国电子科技集团公司第二研究所	3	1	1.0	1.0
3	于卫龙	中国电子科技集团公司第二研究所	2	1	1.0	1.0