Si微电容式加速度计动态参数的提取

• 作者: 卞玉民 郑锋
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电激励 微机电系统 加速度计 电容 动态参数
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 462-465
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|TH824.4
• 字数: 1905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.08.007

摘要

介绍了一种电容式微Si加速度计的基本结构以及静电激振法用于电容加速度计动态参数测试的基本原理.提出了在开环条件下,采用静电激振法对该类型电容加速度计动态参数测试的电路方案.通过分析获得了扫频特性曲线和阶跃响应曲线,得到了传感器的固有频率、阻尼比.试验结果表明,采用静电激振法得到的结果与传感器设计值比较接近.可以认为,开发的动态参数测试系统是快速且有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卞玉民	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	38	3.0	5.0
2	郑锋	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	22	2.0	3.0