MEMS电容式加速度计可靠性研究

• 作者: 吕苗 吝海锋 师谦 恩云飞 杨拥军 郑锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微电子机械系统 电容式 加速度计 可靠性
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 124-126
• 页数: 3页
• 分类号: TP802.1|TN406
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.041

摘要

探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	郑锋	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	22	2.0	3.0
4	吝海锋	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	30	3.0	4.0
5	师谦		2	27	2.0	2.0
6	恩云飞		2	25	2.0	2.0