Zn1-xCuxO薄膜的结构和光学性质

• 作者: 吴雪梅 王晓飞 诸葛兰剑
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 Cu掺杂 氧化锌薄膜 透射率 光学带隙
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 191-193
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4|O472.1
• 字数: 2052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2008.02.004

摘要

采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了Zn1-xCuxO薄膜,薄膜的晶体取向和表面形貌用X射线衍射(XRD)仪和扫描电子显微镜 (SEM)进行测量.利用紫外-可见光(UV-vis)分光光度计来测量基片为石英的Zn1-xCuxO薄膜的透射光谱.实验表明,采用射频磁控溅射制备的掺Cu氧化锌薄膜具有(002)峰的择优取向.随着Cu掺入量的增加样品成膜质量降低,禁带宽度减小,透射率下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴雪梅	苏州大学物理科学与技术学院	10	47	4.0	6.0
5	诸葛兰剑	苏州大学分析测试中心	59	199	8.0	11.0
7	王晓飞	苏州大学物理科学与技术学院	5	22	3.0	4.0