离焦激光直写的线宽稳定方法

• 作者: 张山 王雷 谭久彬 金占雷
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 线宽稳定性 光功率控制 离焦激光直写 衍射光学元件
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 集成光学
• 页码范围: 1730-1734
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|TN305.7
• 字数: 2555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.09.018

摘要

为了提高激光直写加工衍射光学元件时的线条质量,提出一种离焦激光直写的线宽稳定方法.该方法通过同时调节激光功率和离焦量,使光刻胶的曝光阈值处于线宽对曝光量的变化率较小位置,从而可以弱化线宽对实际曝光量或光刻胶阈值等变化的敏感度,提高利用离焦方法进行衍射光学元件制作时的线宽稳定性.推导了稳定线宽后的光功率控制模型和线宽模型,模型中的变量仅为离焦量,降低了光功率控制的复杂性.利用632.8 nm的He-Ne激光和NA-0.1的物镜在CCD上对采用该方法后的离焦线宽模型进行验证,实验结果与理论模型吻合较好.该方法对于线宽稳定度较高的衍射光学元件制作具有重要价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金占雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	23	3.0	4.0
2	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
3	张山	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	25	4.0	5.0
4	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0