256×1甚长波多量子阱红外焦平面线列研制

• 作者: 丁瑞军 候颖 周均铭 徐向晏 李宁 熊大元 甄红楼 郭方敏 陆卫 黄绮
• 来源期刊: 中国科学G辑
• 关键词: 量子阱 焦平面 超长波 红外探测器 衍射光栅
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1075-1082
• 页数: 8页
• 语种: 中文

摘要

通过材料设计与制备,甚长波GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的峰值响应波长14.6μm,响应带宽大于2.2岬.256×1焦平面线列采用垂直入射二维光栅耦合工作模式,45 K温度下,单元响应率4.28×10-2 A/W、单元黑体探测率Db*=5.14×109 cm.Hz1/2/W、单元黑体单色探测率Dλ*=4.24×1010cm.Hz1/2/W.通过铟柱与互补式金属-氧化物-半导体读出电路互连得到的甚长波量子阱红外探测器FPA(focal plane array)在积分时间100μs时,有效像元率Nef=99.22%、平均响应率R=3.485×106V/W、响应率的不均匀性UR=5.83%、平均黑体探测率典型值Db*=2.181×108cm.Hz1/2/W、平均单色探测率Dλ*=8.288×109cm·Hz1/2/W.器件已适合进行室温目标的热像图.