长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件

• 作者: 丁瑞军 何力 倪云芝 唐红兰 巫艳 张勤耀 方维政 李言谨 杨建荣 王建新 王正官 胡晓宁 陈新强 陈路 魏彦峰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 长波 长线列 红外焦平面 碲镉汞
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 90-92
• 页数: 3页
• 分类号: O472
• 字数: 1869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2009.02.003

摘要

介绍了长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件的制备技术和达到的性能参数.探测器采用离子注入平面pn结制备光敏元,通过间接倒焊技术和读出电路互联,采用8个256元焦平面模块拼接2048元线列焦平面器件.光敏元的响应截止波长达到9.9μm,相应的RoA达到10Ωcm2,平均峰值探测率达到9.3×1010cmHz1/2 W-1,响应不均匀性为8%,有效光敏元率大干99.5%.