碲镉汞雪崩焦平面器件

• 作者: 丁瑞军 何力 周松敏 李浩 林春 王溪 郭慧君 陈洪雷 陈路 魏彦锋
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 雪崩光电二极管 焦平面 噪声等效光子数 过剩噪声因子
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 页码范围: 587-590
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2175字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2019.05.007

摘要

碲镉汞雪崩光电二极管以其高增益、高灵敏度和高速探测的优点成为第3代红外光电探测器的重要发展方向之一.制备了截止波长3.56 μm的雪崩光电二极管焦平面器件,面阵规模为16×16.焦平面器件在0～6V偏压下有效像元率大于90％,非均匀性小于20％.6V偏压下NEPh约为60,过剩噪声因子为1.2.