碲镉汞红外焦平面器件热失配应力研究

• 作者: 丁瑞军 何力 倪云芝 吴云 唐红兰 张勤耀 曹菊英 朱建妹 李言谨 杨建荣 王建新 王正官 胡晓宁
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 红外焦平面 HgCdTe 热应力 可靠性
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 409-412
• 页数: 4页
• 分类号: O472
• 字数: 3489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2008.06.003

摘要

采用有限元分析方法研究了碲镉汞红外焦平面器件在低温下由于不同热膨胀系数引起的热失配应力,提出了两种焦平面器件结构,可以有效地降低热应力,并应用于实际器件的制备,明显提高了碲镉汞焦平面器件的可靠性.