Mn/6H-SiC(0001)界面的同步辐射光电子能谱研究

• 作者: 刘忠良 刘金锋 孙柏 徐彭寿 徐现刚 武煜宇 陈秀芳
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 其他
• 关键词: 同步辐射 光电子能谱 欧姆接触 Mn/SiC
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 新一代同步辐射技术及应用
• 页码范围: 900-904
• 页数: 5页
• 分类号: O485|O582
• 字数: 3207字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2008.12.005

摘要

本文利用同步辐射光电子能谱(SRPES)和X射线光电子能谱(XPS)对金属Mn在6H-SiC(0001)表面的生长模式和Mn/6H-SiC(0001)界面进行了研究.实验结果表明,常温下金属Mn在6H-SiC(0001)表面上表现为二维层状生长模式.随着金属Mn沉积膜厚的增加,样品表面金属性明显增强.沉积过程中,金属Mn并未与SiC衬底发生反应,界面间由于能带弯曲导致费米能级向下移动,并计算出肖特基势垒高度(SBH)大约为1.79eV.当沉积膜厚达到2 nm后,样品于250℃退火导致金属.Mn向衬底扩散,但未与衬底发生反应.样品于500℃退火后界面间形成Mn的硅化物.