表面阳极氧化铝结构对ZnO薄膜探测器的响应增强

• 作者: 孙志军 曾丹燕
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO探测器 阳极氧化铝 光栅
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 459-461
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.04.010

摘要

通过在ZnO外延薄膜上淀积一层Al薄膜,并利用Al膜叉指型光刻胶图案为掩模,可以选择性地将叉指间无光刻胶区域下的Al膜阳极氧化,在ZnO表面形成氧化铝微纳结构,而在光刻胶掩模下未被阳极氧化的Al膜便成为ZnO紫外光电导探测器的叉指电极.用此法制备的非周期性氧化铝结构具有相近的孔大小和间距,形成可以在平面内全方位大角度衍射的光栅矢量.入射光可以被ZnO有阳极氧化铝结构的探测器比无此结构的器件在同等条件下的光响应度提高到了1.8倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙志军	厦门大学物理系	2	6	2.0	2.0
2	曾丹燕	厦门大学物理系	1	2	1.0	1.0