光栅光阀MEMS光开关系统设计

• 作者: 喻洪麟 鲁双全
• 来源期刊: 重庆大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅光阀 MEMS 光开关 衍射效率 开关时间
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 机械、光电工程
• 页码范围: 619-622
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 1940字
• 语种: 中文

摘要

分析了光栅光阀(grating light valve, GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真.利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-mechanical systems,微机电系统)光开关,经CoventorWare仿真表明,在1.55 μm光波长正入射及给定GLV参数时,所设计的光开关1级衍射效率达到50％,开关时间为微秒级,并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	喻洪麟		1	5	1.0	1.0
2	鲁双全		1	5	1.0	1.0