微纳米加工技术

• 作者: Mark J. Jackson 程恩隽
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米加工技术 微纳米技术 功能结构 集成电路技术 微系统技术 微纳米加工 生产成本 高度集成
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 页码范围: 6-7
• 页数: 2页
• 分类号: TB383

摘要

无论是集成电路技术，还是微系统技术或纳米技术，其共同特征是功能结构的尺寸在微米或纳米范围，因此可以统称为微纳米技术。功能结构的微纳米化带来的不仅仅是能源与原材料的节省，而且导致多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。本书作者力求全面介绍微纳米加工方面的各种技术，并且介绍了微纳米加工技术的最新进展。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程恩隽		25	0	0.0	0.0