先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织和性能的影响

• 作者: 刘艳辉 孟亮 汪洋 陈旭波
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: FeS2膜 先驱体 组织结构 电学性能
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 489-492
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 2027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2008.03.025

摘要

利用不同温度基底溅射沉积Fe膜并硫化合成FeS2薄膜的方法,研究了先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响.结果表明,较高的基底温度能够产生较大尺寸的Fe膜晶粒.400 ℃硫化反应可使不同结晶程度的Fe转变为晶粒细小的FeS2.随先驱体Fe膜基底温度升高,合成后的FeS2膜体几何连续程度提高,载流子浓度下降及Hall迁移率上升.制备先驱Fe膜基底温度为300～400 ℃时的FeS2薄膜电阻率出现极大值.Fe膜基底温度变化改变了先驱体结晶程度,导致了FeS2薄膜中晶体缺陷行为及相变应力作用程度的变化,进而导致了FeS2薄膜电学性能的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟亮	浙江大学材料与化学工程学院	74	680	15.0	21.0
2	刘艳辉	浙江大学材料与化学工程学院	17	117	6.0	10.0
3	汪洋	浙江理工大学理学院	24	87	7.0	8.0
4	陈旭波	浙江大学材料与化学工程学院	2	3	1.0	1.0