压电折叠梁微执行器的低电压优化设计

• 作者: 刘理天 方华军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压电 折叠梁 微执行器
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 465-468
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2207字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.025

摘要

采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计.首先通过理论分析获得优化的器件结构参数,再通过有限元模拟验证理论分析结果.在器件设计中,通过综合考虑制造工艺、工作条件、器件应用的可靠性,对压电悬臂梁长度、单晶硅层厚度、折叠梁级数,以及工作电压进行折衷优化,获得低电压应用时最佳的器件参数.