倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究

• 作者: 孙玲玲 董林玺 钱忺 颜海霞
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高精度微传感器 倾斜梳齿 惯性脉冲响应 MEMS
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1035-1040
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 4398字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2008.05.037

摘要

DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时,研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应,并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明,当传感器为没有静电力反馈的双边电容结构时,梳齿电容的不平行对传感器的响应位移、惯性脉冲响应线性度范围影响明显,且随着封装真空度增加而加重.若传感器有静电力反馈,惯性脉冲响应的灵敏度降低,但DRIE工艺因素的影响程度降低.为了抑制DRIE工艺导致的梳齿电容不平行因素的影响,文中还设计了一个新型的变电容面积的MEMS惯性传感器,并用ANSYS初步分析了其性能,设计了其详细的制作工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜海霞		6	40	3.0	6.0