梳状电极双轴微机械加速度计的研制

• 作者: 丁金玲 刘晓为 赵振刚 陈伟平 马原芳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 双轴加速度传感器 梳状电极 有限元分析
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 589-592
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2577字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.014

摘要

提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±50 gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳状电极结构.利用有限元分析软件分析得到本文所设计的双轴加速度传感器微结构整体质量为1.174 mg,X、Y轴的灵敏度皆为2.3 fF/g,模态分析结果表明,第一和第二模态振型为两敏感方向的振型,且谐振频率分别为2 774 Hz,2 775 Hz.经过MEMS加工工艺制作出的芯片尺寸为5 260 μm×5 260 μm.经过测试,此双轴加速度传感器的电学灵敏度为33.78 mV/g,谐振频率为2.4 KHz,带宽可达到1.5 KHz.