"Ni-Zn铁氧体颗粒-光刻胶"覆盖的片上射频电感

• 作者: Albert Wang 任天令 刘理天 刘锋 岳振星 杨晨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁氧体 电感 射频集成电路
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 314-317
• 页数: 4页
• 分类号: TN4D9
• 字数: 2006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.032

摘要

本文报道了采用新型"纳米颗粒一光刻胶"混合旋涂技术制作的片上射频Ni-Zn铁氧体磁膜微电感.成相良好的Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4铁氧体纳米颗粒在光刻胶中均匀混合,再将该混合物涂覆在螺旋电感线圈上,实现电感性能的提升.这种新型低温工艺避免了常规制作铁氧体器件方法带来的高温处理(>600℃)对集成电路的破坏.与无磁膜覆盖样品对比,铁氧体覆盖电感的电感量在0.1～4 GHz提升了14～27%.这是实现高性能、全兼容铁氧体集成片上RF IC电感的一种很有前景的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	岳振星	清华大学材料科学与工程系	37	591	12.0	24.0
4	刘锋	清华大学微电子学研究所	71	1218	20.0	33.0
5	杨晨	清华大学微电子学研究所	13	74	5.0	8.0