有机械耦合的电容式硅微陀螺敏感信号读取研究

• 作者: 陈建元
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 机械耦合 调理电路
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 151-154
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2008.07.041

摘要

电容式硅微机械陀螺是测量转动角速度的一种常用传感器.硅微陀螺都不可避免地存在驱动方向与敏感方向之间的机械耦合干扰,其主要原因是驱动轴与敏感轴的刚度耦合.本文研究发现,靠近敏感信号的峰值点对应着干扰影响最小的采样时刻.通过结合使用关断驱动信号法,减少了机械耦合干扰、电气耦合干扰和系统误差,提高了硅微陀螺的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建元	东南大学仪器科学与工程学院	16	88	6.0	8.0