哈尔滨实现高纯芯片“防腐剂”国产化

• 作者: 王兵
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 经济
• 关键词: 防腐剂 国产化 高纯 电子气体 哈尔滨市 硅烷 集成电路 半导体 防腐性 电子芯片
• 年，卷（期）: gnclxx_2008,（Z1）
• 页码范围: 86-86
• 页数: 1页
• 分类号: F426.72

摘要

据报道,近日,哈尔滨金烨创业投资中心与南京特种气体有限公司签约,在哈尔滨市建立基地,生产纯度为99.9999%的电子气体,首次实现了硅烷这种能够保证电子芯片、集成电路具有高防腐性的电子气体的国产化。