超快脉冲激光辐照金属薄膜热-力效应的模拟研究

• 作者: 王德飞 郭春凤 齐文宗
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超快脉冲激光 金属薄膜 超快热弹 热应力 非热平衡
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 2172-2176
• 页数: 5页
• 分类号: O437|TN249
• 字数: 3533字
• 语种: 中文

摘要

基于双曲双温两步热传导和热电子崩力模型,考虑到超快脉冲激光辐照金属薄膜材料过程中的热-力耦合效应,得到了完全耦合的、非线性的超快热弹性模型.运用具有人工粘性和自适应步长的有限差分算法,以脉宽为100 fs的脉冲激光辐照200 nm厚金膜为例,对薄膜体内的电子-晶格温度及温度梯度、热应力和电子热流进行了数值模拟研究.结果表明:脉冲辐照早期为明显的非平衡加热阶段,同时形成较大的热电子崩力;电子热流出现双峰现象;超快加热引起的热应力是导致薄膜力学损伤的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐文宗	四川大学电子信息学院	30	289	12.0	15.0
2	郭春凤	四川大学电子信息学院	5	55	3.0	5.0
3	王德飞	四川大学电子信息学院	7	68	4.0	7.0