脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜热效应研究

• 作者: 刘海淘 周维军 桂元珍 袁永华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光辐照 薄膜 温度场 热应力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2671字
• 语种: 中文

摘要

采用1.06 μm单脉冲激光在不同能量密度下辐照特殊光电系统中典型薄膜光学元件,理论分析了激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场,在此基础上建立了激光辐照多层薄膜的物理模型,计算软件使用ANSYS软件的热分析模块对激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场进行了模拟,分别给出不同激光能量密度下薄膜表面光斑中心的温度场、径向温度场和轴向温度场分布;同时给出不同能量密度下薄膜的轴向、径向和环向热应力分布.并对激光辐照薄膜元件产生的温度场、热应力场进行了分析,阐明了原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周维军	中国工程物理研究院流体物理研究所	18	87	7.0	8.0
2	袁永华	中国工程物理研究院流体物理研究所	17	99	6.0	9.0
3	桂元珍	中国工程物理研究院流体物理研究所	5	43	4.0	5.0
4	刘海淘	中国工程物理研究院流体物理研究所	1	7	1.0	1.0