多晶硅生产的主要工艺技术

• 作者: 孟奔
• 来源期刊: 科协论坛（下半月）
• 学科: 生物学
• 关键词: 多晶硅 生产工艺
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 科学与研究
• 页码范围: 48-48
• 页数: 1页
• 分类号: Q311
• 字数: 2047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-3973.2008.06.035

摘要

本文多晶硅的发展的介绍,多晶硅的生产工艺方法,国内发展过程、现状,现在在国内面临的问题等方面的介绍.