微机械产品的应用及其微细加工方法的分析研究

• 作者: 姜涛 梁迎春 赵岩
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 准LIGA技术 微机电系统
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 页码范围: 6
• 页数: 1页
• 分类号: TH122|TQ127.13
• 语种: 中文

摘要

综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展;分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点.最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望.