LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺

• 作者: 代令 李东方 林祖伦 祁康成 陈文彬
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 六硼化镧 场发射 牺牲层 溅射 ZnO-Al
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 923-926
• 页数: 4页
• 分类号: TN105
• 字数: 2014字
• 语种: 中文

摘要

分析了传统牺牲层材料铝在制备LaB6场发射阵列时存在的问题,利用溅射及热蒸发工艺依次制备铝膜和氧化锌膜,制备出了一种新型的牺牲层--ZnO-Al复合牺牲层,并对所制备的阵列进行了测试.实验结果表明:ZnO-Al复合牺牲层能够有效地解决电化学腐蚀的问题,所制备出的LaB6场发射阵列尖锥保持了完好的形貌,其发射特性也达到了最初制备场发射阵列的要求,说明ZnO-Al复合牺牲层是作为LaB6场发射阵列牺牲层的理想材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祁康成	电子科技大学光电信息学院	65	340	10.0	14.0
2	林祖伦	电子科技大学光电信息学院	76	442	10.0	15.0
3	陈文彬	电子科技大学光电信息学院	45	202	8.0	11.0
4	李东方	电子科技大学光电信息学院	2	3	1.0	1.0
5	代令	电子科技大学光电信息学院	1	3	1.0	1.0