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摘要:
本文利用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备得到了AZO透明导电薄膜,就两种不同的热处理-退火方式对薄膜的结构与性质的影响做了比较,研究了掺杂浓度、退火温度对薄膜结构及性质的影响规律.结果表明,高温、分层退火、铝掺杂均有利于生成结晶度高、具有C轴优先取向的AZO薄膜;高温和分层退火有利于晶粒长大,相反铝掺杂却有碍晶粒长大;薄膜的电学性质随退火温度和铝掺杂量的变化呈现规律的变化.通过分析AZO薄膜内的晶体生长过程,本文认为主要是制备条件和AZO晶体的晶面习性导致了薄膜的结晶度、晶体生长取向性和晶粒尺寸等方面的差异.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 制备条件对铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜结构和电学性质的影响
来源期刊 影像科学与光化学 学科 化学
关键词 溶胶-凝胶 铝掺杂氧化锌薄膜 掺杂 热处理 退火
年,卷(期) 2009,(6) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 452-461
页数 10页 分类号 O64
字数 7056字 语种 中文
DOI
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序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李金培 中国科学院理化技术研究所 40 132 7.0 9.0
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溶胶-凝胶
铝掺杂氧化锌薄膜
掺杂
热处理
退火
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期刊影响力
影像科学与光化学
双月刊
1674-0475
11-5604/O6
16开
北京市海淀区中关村东路29号 中科院理化所
2-383
1983
chi
出版文献量(篇)
1689
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4
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11331
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