制备条件对铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜结构和电学性质的影响

• 作者: 张天宝 李金培
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶 铝掺杂氧化锌薄膜 掺杂 热处理 退火
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 452-461
• 页数: 10页
• 分类号: O64
• 字数: 7056字
• 语种: 中文

摘要

本文利用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备得到了AZO透明导电薄膜,就两种不同的热处理-退火方式对薄膜的结构与性质的影响做了比较,研究了掺杂浓度、退火温度对薄膜结构及性质的影响规律.结果表明,高温、分层退火、铝掺杂均有利于生成结晶度高、具有C轴优先取向的AZO薄膜;高温和分层退火有利于晶粒长大,相反铝掺杂却有碍晶粒长大;薄膜的电学性质随退火温度和铝掺杂量的变化呈现规律的变化.通过分析AZO薄膜内的晶体生长过程,本文认为主要是制备条件和AZO晶体的晶面习性导致了薄膜的结晶度、晶体生长取向性和晶粒尺寸等方面的差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金培	中国科学院理化技术研究所	40	132	7.0	9.0