等离子体清洗同步辐射光学元件

• 作者: 余小江 尉伟 王勇 王秋平 高兴宇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 碳污染 等离子体清洗
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 704-706
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.06.23

摘要

同步辐射光束线的光学元件的碳污染问题.它导致光学系统的光通量下降,尤其是在碳吸收边情况更加严重.因此在光束线运行一定的时间后,必须对光学元件的碳污染进行清洗以便保证其正常使用. 为此我们开发了一套射频等离子体原位光学元件清洗系统,以干燥的氧气和氩气为介质.在产生的等离子中存在大量的臭氧,与光学元件表面的碳反应,变成CO和CO_2气体,从而达到清洗的目的.实验证明等离子体清洗不但可有效清除碳污染,而且有利于光束线真空系统的超高真空环境的恢复,为光束线的维护提供了方便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	507	5142	33.0	48.0
2	尉伟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	21	104	7.0	9.0
3	王秋平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	37	235	8.0	13.0