压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析

• 作者: 冯闯
• 来源期刊: 湖南农机：学术版
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机系统 压膜阻尼 谐振器 品质因子
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TB123

摘要

微梁谐振器是微机电系统中常用的一种谐振器。基于修正雷诺方程和梁的振动理论，通过求解微梁的控制方程，得到了压膜阻尼对有孔微梁梁振动特性的影响，可以为器件的优化设计提供参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯闯	西北农林科技大学机电学院	2	0	0.0	0.0