介电可调薄膜材料及压控微波器件研究

• 作者: 刘兴钊 李汝冠 李言荣 王鲁豫 蒋书文
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡BST薄膜 铌酸铋镁BMN薄膜 介电可调薄膜材料 压控微波器件
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 609-617
• 页数: 9页
• 分类号: TN604|TN61
• 字数: 5636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

摘要

利用介电可调薄膜材料的调谐特性研制的介质压控微波器件高频特性好、功率容量大、响应速度快,还有易集成、功耗小、成本低、可靠性高的特点,相比半导体管、铁氧体以及MEMS器件有明显的优势.该文系统介绍了近年来国内外介电可调薄膜材料及压控微波器件的研究进展,并结合作者的工作评述了介电可调薄膜材料和压控微波器件的应用情况.除研究最为集中的钛酸锶钡BaxSr1-xTiO3(BST)材料,还介绍了具有较高调谐率的铋基焦绿石铌酸铋镁Bi1.5MgNb1.5O7(BMN)薄膜材料,该材料介电损耗低(约0.002),介电常数适中(约86),温度系数小,是一种极具发展前景的微波介电可调材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	824	15.0	21.0
2	刘兴钊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	56	310	9.0	14.0
3	蒋书文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	30	197	7.0	12.0
4	王鲁豫	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	11	70	4.0	8.0
5	李汝冠	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	17	2.0	3.0