基于溶胶-凝胶法的ITO透光导电膜制备

• 作者: 刘杰 杨斌
• 来源期刊: 纺织学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO膜 溶胶-凝胶 透光性 导电性
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 纤维材料
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2737字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-9721.2009.07.001

摘要

以In(NO3)3·4.5H2O为主要原料,用乙酰丙酮作溶剂,掺加SnCl4·5H2O(铟锡物质的量比为10:1)制得溶胶,以石英玻璃为基体用提拉法制得ITO膜,与已有制备方法相比,试样每次提拉后都经过500℃的退火处理,循环5次.利用表面轮廓仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪对所制样品的厚度、形貌结构和光电性能进行测试表征.实验结果表明,制备的ITO膜导电性能好,在可见光范围内透光率高,电阻率约为5.625×10-3 Ω·cm,透光率为90%～95%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨斌	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	42	209	9.0	12.0
2	刘杰	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	3	1	1.0	1.0