基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化

• 作者: 刘俊 刘韶轩 李孟委 杜康 石云波
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 介观压阻效应 微机械陀螺 结构优化
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 信号检测、算法与仿真
• 页码范围: 519-525
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 4061字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2009.06.011

摘要

介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级.利用该效应作为高灵敏度器件,首次提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.利用ANSYS软件,对其结构性能进行仿真,分析了固有频率、振幅以及哥氏效应下敏感方向的位移等特性,提出了结构优化分析的方法.在哥氏效应等耦合作用下对该结构进行多参数优化设计,并得到优化结果.经过对结果进行比较和考量分析,结果证明:微陀螺仪的驱动频率和检测频率的差值由原来的217.83Hz增大到362.87Hz,微陀螺仪的工作带宽增大,同时质量块在Z方向的位移增大了0.3μm,从而使检测梁根部受到的应力也增大了1.7MPa,结构灵敏度提高了18%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	李孟委	中北大学电子测试技术国家重点实验室	30	75	5.0	7.0
7	杜康	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	39	3.0	6.0
8	刘韶轩	中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0