介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试

• 作者: 刘俊 杜康 王瑞荣 石云波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 介观压阻效应 微机械陀螺 驱动测试 检测测试
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 1700-1703
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.12.006

摘要

将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构.结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装.通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1 kHz和4 kHz时的测试灵敏度分别为7.51 mV/gn、100.74 mV/gn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	王瑞荣	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	11	2.0	3.0
4	杜康	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	39	3.0	6.0