介观压阻效应微陀螺仪的制造问题及改进方法

• 作者: 刘俊 李孟委 杜康 王勇 石云波
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 隧穿微陀螺仪 多势垒纳米膜 介观压阻效应 制造工艺 缺陷
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 624-629
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 2568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2009.06.025

摘要

将利用多势垒纳米膜介观压阻效应的高灵敏度器件应用在陀螺中,提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.研究并开发了多势垒纳米膜及介观压阻效应微陀螺仪的制造工艺,通过对制造后的结构进行测试,发现了制造过程中的缺陷,包括敏感结构多势垒纳米膜制造缺陷、陀螺检测梁和驱动梁制造缺陷、检测信号电磁干扰缺陷和封装缺陷等.分析论述了形成缺陷的原因,提出了克服这些问题的工艺方法,从而改进了隧穿微机械陀螺仪的制造工艺,有利于提高微陀螺的制造成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	王勇		53	98	6.0	7.0
4	李孟委	中北大学电子测试技术国家重点实验室	30	75	5.0	7.0
5	杜康	中北大学电子测试技术国家重点实验室	8	39	3.0	6.0