溶胶-凝胶法制备ZrO2/SiO2双层减反硬膜

• 作者: 唐永兴 李海元 胡丽丽
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 溶胶-凝胶 双层减反 ZrO2/SiO2 耐擦除
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 556-559
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.4
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092902.0556

摘要

以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料, 用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉法涂膜, 制备高透过的λ/ 4～λ/ 4型ZrO2/SiO2双层减反膜.该减反膜的表面均匀, 均方根(RMS)粗糙度为1.038 nm, 平均粗糙度(RA)为0.812 nm.制备的双层减反膜具有很好的减反效果, 在石英玻璃基片二面涂膜, 在激光三倍频波长351 nm处透射比达到99.41%, 比未涂膜石英玻璃基片的透射比提高了6.14%;在基频波长1053 nm处透射比达到99.63%, 比未涂膜K9光学玻璃基片的透射比提高了7.67%.膜层具有较高的激光损伤阈值, 在激光波长为1053 nm, 脉冲宽度为1 ns时, 薄膜的激光损伤阈值达到16.8 J/cm2.膜层具有良好的耐擦除性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡丽丽	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	185	1423	20.0	27.0
2	李海元	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	9	56	4.0	7.0
3	唐永兴	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	9	63	5.0	7.0