ZrO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜膜层间的渗透行为

• 作者: 吕海兵 徐世珍 李绪平 王毕艺 祖小涛 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 郑万国 郭袁俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏仪 模系设计 溶胶-凝胶 渗透 透射率
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1497-1500
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 1523字
• 语种: 中文

摘要

分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶.用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了单层SiO2薄膜、单层ZrO2薄膜、ZrO2/ SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜.采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率,用紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透射率.对薄膜的透射光谱和椭偏仪模拟的数据进行分析,发现SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透十分明显,而ZrO2/ SiO2双层膜之间几乎不发生渗透.利用TFCalc模系设计软件,采用三层膜模型对薄膜的透射率进行模拟,得出的透射曲线与用紫外-可见光分光光度计测量的透射曲线十分符合.