层间热处理对SiO2/ZrO2双层膜的影响

• 作者: 向霞 吕海兵 王毕艺 祖小涛 章春来 蒋晓东 袁晓东 郑万国
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: SiO2/ZrO2双层膜 溶胶-凝胶 热处理 椭偏模拟 膜间渗透 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1469-1473
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2921字
• 语种: 中文

摘要

以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜.采用不同实验步骤制备了2个样品,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2.采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄膜进行表征.针对SiO2/ZrO2双层膜,考虑到膜间渗透的影响,采用3层Cauchy模型进行椭偏模拟,椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现热处理可以使SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透减少近23 mm.从而提高其峰值透射率.利用输出波长1.064μm,脉宽8.1 ns的激光束对样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为13.6 J/cm2和14.18 J/cm2,均为膜的本征损伤.