氧化锌半导体薄膜在原子氧探测中的应用

• 作者: 冯展祖 李中华 杨生胜 王云飞 王兰喜 郑阔海 陈学康 高欣
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 制备 原子氧 探测
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 空间特殊环境效应研究
• 页码范围: 114-117
• 页数: 4页
• 分类号: V416.5|TQ132.4+1
• 字数: 3372字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1379.2009.02.003

摘要

氧化锌半导体薄膜是用于空间原子氧探测的一种敏感材料.采用脉冲激光沉积方法(PLD)在(001)取向的蓝宝石基底上制备出了高质量的氧化锌薄膜,并在地面原子氧模拟设备中考察了其原子氧敏感特性.结果表明,氧化锌薄膜对原子氧有较好的敏感特性,并且在受热后导电性能可以恢复,满足重复探测的要求.