高透过率红外窗口保护薄膜的研制

• 作者: 杨林峰 熊长新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 红外窗口 保护薄膜 光学透过率 环境适应性
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.06.012

摘要

在Si、Ge红外窗口上利用离子辅助电子束蒸发技术和RF-PECVD技术制备了具有高透过率的AR/DLC保护薄膜,并与单层DLC保护薄膜的光学性能进行了对比.所制备的高透过率保护薄膜达到如下性能:在3～5μm波段,Si基底上一面镀高效红外增透膜一面镀AR/DLC增强型保护薄膜的平均透过率达到约96%,较之镀DLC膜平均透过率提高了约4%.在8～12 μm波段,Ge基底上一面镀高效红外增透膜一面镀AR/DLC增强型保护薄膜的平均透过率达到约95%,较之镀DIC膜平均透过率提高了约5%.有关薄膜样品都通过了相应的环境试验.